В оборудовании полупроводниковой промышленности расплавленное стекло из кремниевого стекла часто используется при высоких температурах от 1000°C до 1300°C.девитрификация происходит из-за адгезии примесиДевитрифицированные части представляют собой кристаллизированные области расплавленного кремния, а точка преобразования кристаллизации составляет 275°C.Когда расплавленное стекло кремниевого стекла охлаждается от высоких температур до этой температуры преобразования, кристаллизированный девитрифицированный слой на поверхности имеет другой коэффициент теплового расширения от высокотемпературной α-фазы и низкотемпературной β-фазы самого расплавленного стекла кремниевого стекла.Это приводит к непрозрачнойВ более тяжелых случаях может возникнуть трещины.
Для продления срока службы продуктов из расплавленного кремния крайне важно предотвратить причины девитрификации.щелочные земные металлы, пот, слюна, масляные пятна, пыль и т. д. Даже уровень загрязнения 0,1 мг/см2 может вызвать десятикратное или даже сотнекратное увеличение девитрификации.чтобы предотвратить прикрепление этих загрязнителей к поверхности расплавленного кремнияКроме того, перед высокотемпературными операциями необходимо провести тщательную очистку, чтобы обеспечить чистоту поверхности расплавленного кремния.
Общая очистка расплавленного кремния следует установленной процедуре: сначала промыть поверхность чистой водой, затем погрузить ее в кислотную ванну в течение определенного периода, удалить, снова промыть чистой водой,И наконец, высушите его на воздухе.Виды кислотных растворов следующие:
| Категория/пункт | Концентрация | Время |
|---|---|---|
| Фторированная кислота (HF) | 470,0% ~ 52,0% | 1 ~ 2 минуты |
| Фторированная кислота (HF) | 50,0% ~ 10% | 10 ~ 15 минут |
| Гидрофторная кислота + азотная кислота | 50% + 65% | 10 ~ 15 минут |
| Гидрофторная кислота + серная кислота | 50% + 65% | 10 ~ 15 минут |