5 отверстий 127x127x3 мм кварцевая стеклянная пластина для калибровки полупроводниковых пластинок 5 дюймов

5 отверстий кварцевая стеклянная плита 127x127x3 мм для калибровки 5-дюймовых вафелей

Эта 5-ствольная кварцевая стеклянная калибровочная плита представляет собой высокоточный инструмент калибровки полупроводникового оборудования.Он соответствует стандартным 5-дюймовым спецификациям для проверки и калибровки оборудования на пробе, AOI, полимерные и оптические метрологические приложения.

Параметры продукта

Ключевые особенности

• 5 Точное расположение отверстийПять отверстий для определения местоположения с плотной терпимостью для калибровки координат оборудования, заменяющих ежедневную проверку кремниевых пластин.
• Сверхвысокая плоскость️ Двусторонняя точность полированной поверхности с минимальными термическими деформациями для постоянной точности калибровки.
• Устойчивость к химическому очищениюПротивоустойчивый к стандартным растворителям для очистки полупроводников, сохраняющий размерную стабильность после повторных циклов очистки.
• Оптическая однородностьНизконапряженное кварцевое стекло обеспечивает единообразную оптическую передачу для систем AOI и визуальной инспекции.
• Долгосрочная стабильностьСтабильная точность при длительном повторном использовании, разработанная как специальный стандарт калибровки полупроводниковой промышленности.

Заявления

1Проверка полупроводниковых пластин

Главная калибровочная пластина для проверки плоскости и размеров 5 дюймовых пластинок.Оптическая контрольная таблица AOI для калибровки фокусировки объектива и точности распознавания.

2Процесс упаковки и пробирования

Справочная таблица позиционирования станции зондирования для проверки положения зонда и проверки плоскости платформы с помощью пяти отверстий.коррекция отклонения механического устройства.

3Лаборатория оптической метрологии

Стандартная калибровочная пластина для измерительных аппаратов зрения и контурных тестеров, используемая для проверки точности измерений обычного оборудования.

4. Автоматизированная калибровка фиксаторов производственных линий

Стандарт калибровки инструментов полупроводникового автоматизированного оборудования, предназначенный для повторной очистки без деформации в производственной среде.

Преимущества над обычным стеклом

В отличие от обычных стеклянных плит, эта кварцевая стеклянная калибровочная плита имеет двойную сторону с высокой точностью полировки с чрезвычайно низкой деформацией поверхности.Коаксиальность пяти отверстий и диаметр отверстия строго контролируются в пределах строгих допусковУстойчив к стандартным химическим средствам для очистки полупроводников, он обеспечивает стабильную точность при длительном повторном использовании, что делает его стандартной частью калибровки для применения полупроводников.