Одиночная сторона отполировала особую чистоту кварцевой пластины 200кс250кс6мм для приспособления оптического покрытия носителя вафли полупроводника

Односторонняя полированная кварцевая пластина 200x250x6 мм

Эта полированная с одной стороны кварцевая пластина размером 200x250x6 мм имеет прецизионную оптически полированную поверхность, а противоположная сторона отшлифована слева для стабильного позиционирования. Изготовленный из кварца высокой чистоты, он обеспечивает термостойкость до 1100°C и превосходную химическую стойкость — идеально подходит для носителей полупроводниковых пластин, подложек для оптических экспериментов, приспособлений для вакуумного нанесения покрытий и лабораторных высокотемпературных инструментов.

Параметры продукта

Ключевые особенности

• Односторонняя оптическая полировка– Одна поверхность отполирована до зеркального блеска для превосходного светопропускания и оптической прозрачности, а шлифованная обратная сторона обеспечивает стабильное позиционирование и монтаж.
• Термостойкость 1100°C– Сохраняет структурную целостность и стабильность размеров при длительно высоких температурах без деформации, идеально подходит для обработки полупроводниковых пластин и операций диффузии.
• HF и сильная химическая стойкость– Превосходит боросиликатное стекло, выдерживает воздействие плавиковой кислоты и концентрированных кислот/щелочей в сложных условиях полупроводниковой и химической обработки.
• Высокая чистота, отсутствие загрязнений– Кварц чистотой 99,99% с нулевым выделением примесей металлов, что предотвращает загрязнение пластин и образцов при производстве полупроводников высокой чистоты.
• Низкое тепловое расширение– Превосходная термостойкость предотвращает растрескивание при резком изменении температуры, обеспечивая надежную долгосрочную эксплуатацию при циклическом нагреве.

Приложения

1. Полупроводниковая и фотоэлектрическая промышленность

Несущая пластина для нанесения покрытия на чипы и диффузионных процессов. Полированная поверхность поддерживает пластины без загрязнения, сохраняя стабильность размеров при высоких температурах обработки без выделения примесей.

2. Промышленность оптических приборов

Эталонная подложка для тестирования спектра и опорной пластины для фиксации оптического пути. Полированная поверхность обеспечивает четкую передачу света, а неполированная сторона обеспечивает стабильное позиционирование и монтаж.

3. Процесс прецизионного нанесения покрытия

Базовое приспособление для вакуумного нанесения покрытия для нанесения оптических линз, устойчивое к высоким температурам камеры и агрессивным технологическим газам во время операций тонкопленочного покрытия.

4. Химическая лаборатория

Лоток для высокотемпературного спекания и держатель образцов для испытаний на коррозию, совместимый с HF и различными сильными коррозионными реагентами для сложных химических экспериментов.

Преимущества перед боросиликатным стеклом

В отличие от пластин из боросиликатного стекла, которые подвергаются воздействию ВЧ и размягчаются при высоких температурах, эта односторонняя полированная кварцевая пластина обеспечивает полную устойчивость к ВЧ, устойчивую работу при температуре 1100°C, зеркальную поверхность для превосходного светопропускания, низкое тепловое расширение для устойчивости к растрескиванию и конструкцию высокой чистоты для незагрязненных полупроводниковых и прецизионных производственных сред.