Углубленный 9 дюймовый вафли калибровка кварцевая стеклянная пластина высокая температура

Утолщенная калибровочная стеклянная пластина для пластин диаметром 9 дюймов — это прецизионная оптическая эталонная подложка, разработанная для контроля размеров, внешнего вида и плоскостности полупроводниковых пластин. Изготовленная из кварцевого стекла с высоким коэффициентом пропускания или безщелочного боросиликатного стекла, эта калибровочная пластина соответствует стандартному размеру пластины 9 дюймов, предлагая индивидуальную утолщенную конструкцию, которая устойчива к изгибу и деформации во время многократных циклов проверки. Двусторонние поверхности с ультрапрецизионной полировкой обеспечивают оптическую плоскостность и параллельность, создавая стабильную геометрическую базовую линию для систем автоматического оптического контроля. Являясь специализированным калибровочным эталоном, пластина гарантирует, что данные измерений остаются последовательными и воспроизводимыми в течение длительных производственных циклов, что делает ее незаменимым инструментом для производства пластин, выравнивания литографии и приложений оптического измерения изображений.

• Утолщенная конструкция для жесткости: Усиленная пластина предотвращает деформацию во время проверки, обеспечивая стабильные и воспроизводимые калибровочные данные.
• Двусторонняя ультрапрецизионная оптическая полировка: Поверхности без царапин, ямок, пузырей и включений, с оптической плоскостностью и параллельностью.
• Равномерное высокое пропускание от УФ до видимого света: Подложка высокой чистоты минимизирует помехи от рассеянного света и полностью совместима с оборудованием автоматического оптического контроля AOI.
• Низкий коэффициент теплового расширения: Минимальная деформация при изменении температуры сохраняет стабильность эталонной геометрии, а материал устойчив к кислотным и щелочным чистящим растворам.
• Края с прецизионной фаской: Края без сколов защищают пластины и линзы инспекционного оборудования от царапин во время обращения и загрузки.

Утолщенная калибровочная стеклянная пластина для пластин диаметром 9 дюймов служит универсальным оптическим эталоном в условиях производства и контроля полупроводников. Она широко используется для калибровки размеров кремниевых пластин диаметром 9 дюймов, обеспечивая надежный геометрический стандарт, который проверяет точность измерительных инструментов. При контроле плоскостности пластин оптическая поверхность действует как надежная эталонная базовая линия для сравнения однородности поверхности и обнаружения отклонений. Пластина также служит стандартным держателем для оптических измерительных приборов, обеспечивая стабильное позиционирование при анализе размеров. В литографическом оборудовании она работает как калибровочная пластина для выравнивания, помогая поддерживать точную регистрацию рисунка. Кроме того, пластина используется в качестве основания для крепления при контроле дефектов поверхности пластин, предлагая плоскую, стабильную и свободную от загрязнений платформу для автоматизированных систем обнаружения дефектов.

• Утолщенная пластина, устойчивая к изгибу: Усиленная конструкция предотвращает смещение эталона во время длительного массового контроля, сохраняя надежность результатов калибровки от смены к смене.
• Материал высокой чистоты без осадка: Чистая подложка не выделяет загрязняющих веществ, защищая пластины от загрязнения во время контактного контроля.
• Полная индивидуальная настройка: Толщина, оптическое покрытие, маркировка шкалы выравнивания, прорези и сверление могут быть адаптированы к требованиям заказчика.
• Высокая однородность изделий: Строгий производственный контроль гарантирует взаимозаменяемость пластин на нескольких инспекционных машинах с одинаковой производительностью.